PIS纯离子镀膜机
系列设备主要是(集)纯离子镀膜技术(PIC)、 高能离子束清洗技术(IONBEAM)和磁控溅射技术(SPUTTER)三种技术融合一体,可适...
PI纯离子镀膜机
PIS210-2镀膜机:腔体结构由装载腔室+真空镀膜工艺腔室组合而成;镀膜工艺系统由纯离子镀膜(PIC)+离子束清洗(IONBEAM)组合而成。...