镀膜设备-P纯离子镀膜机系列

镀膜设备-P纯离子镀膜机系列

PE422

PE422设备主要是(集)一体化高性能弧源技术(PEPIC)、 高能离子束清洗技术(IONBEAM)和磁控溅射技术(SPUTTER)三种技术融合一体,可适应多种镀膜靶材,无论金属、非金属及各类复合材料都可以利用此设备进行镀膜及成膜,膜层具有高致密、超硬、耐磨损、耐腐蚀等特点。设备可镀制各类金属复合物涂层如:TiN、TiCN、TiAlN、CrN;金属涂层如:Cu、Au、Ag等。设备具备可编程序控制器(PLC)+人机界面(HMI)组合电气控制系统,可实现全自动化控制。

设备优势

PE422设备采用高效的电磁过滤系统,能有效过滤大颗粒及杂质,可制备兼具“功能性”与“装饰性”的优质膜层;

采用全新的弧源设计,应用最新的电弧技术,可大幅度提高弧源连续工作的可靠性,缩短设备维护时间;;

可用于制备各类金属、合金、金属氮化物涂层,制备的涂层具有硬度高、致密性好、表面光洁度和耐腐蚀性能优越的特点;

  • 自主设计的智能化工艺操作系统,提供全面、便捷的工艺配方编辑及调用能力,配备实时工艺参数监控系统可实现远程在线控制。


设备参数

设备型号

PE422

镀膜源类型

磁控多弧源、高能离子束清洗源、磁控溅射源

极限真空(清洁空载条件下)/漏率

≤5×10-4Pa/≤5×10-10Pa•m3/s

抽气速率

<30分钟(真空度5x10-3Pa,空载)

有效镀膜范围(mm)

Φ1000*H600

可选配套电源

直流、脉冲直流、中频、射频、高功率脉冲等

工艺气体

Ar,C2H2N2O2

靶材匹配

石墨靶、Cr、Ti、Ni、Cu、Ta、Zr、W等金属单质或合金靶

真空系统

机械泵+罗茨泵+分子泵

控制方式

PLC+上位机

设备功率

50KW

设备占地(mm)

L4650×W3900×H2850

配套要求

循环水压力:0.2-0.4MPa,压缩空气:0.6-0.7MPa



设备应用领域

消费电子行业、智能穿戴、金属配饰工模具、切削刀具等精密零部件都可用此款设备客户镀制需要的颜色+功能涂层。


PE422设备镀制膜层图集部分