IS24
IS24镀膜机是采用本公司成熟的专利技术:高能离子束清洗源(IONBEAM)+磁控溅射源(SPUTTER),设备采用全自动化控制,模块化集成优化...
IS26
IS26镀膜机是采用本公司成熟的专利技术:高能离子束清洗源(IONBEAM)+磁控溅射源(SPUTTER),设备采用全自动化控制,模块化集成优化...
IS28
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IS13-PM
IS13-PM贵金属薄膜专用镀膜设备采用双腔室结构设计,工艺腔+装/卸载腔,是工艺可靠性与制程效率的完美融合。设备配备一套高能高能...