半导体静电吸盘 ESC
静电吸盘是晶圆真空吸附承载部件，在等离子、真空、往复取放工况下工作，其性能直接决定晶圆夹持稳定性、腔体洁净度与制程良率。
半导体游星轮
游星轮是晶圆双面研磨的核心承载件，在浆料冲刷、持续滑动摩擦工况下工作，其性能直接决定晶圆平整度、表面颗粒水平与研磨良率。
