系列设备主要是(集)纯离子镀膜技术(PIC)、 高能离子束清洗技术(IONBEAM)和磁控溅射技术(SPUTTER)三种技术融合一体,可适应广泛镀膜靶材,无论金属还是介质、化合材料都可以利用溅射工艺进行镀膜及成膜,使膜层具有高致密度、超硬、耐磨损、耐腐蚀等特点。可镀制TiN、TiC、TiCN、TiAlN、CrN、CU、AU、超级类金刚石膜(TAC、DLC)、装饰膜等非金属及其化合物的膜层和复合膜层。可编程序控制器(PLC)+触摸屏(HMI)组合电气控制系统,全自动控制。
1、传动装置为水冷式:设计新颖、结构紧凑、系列间通用、互换性强;水冷式机座,散热效果佳;滚动轴承及传动齿轮可加润滑油运行,使用寿命增长3-5倍;
2、旋转装置为行星旋转机构、据镀膜工艺不同,设计为:公转式、公/自转式;
3、采用气动门铰,自动锁门,减少操作程序,增强真空门整体的密闭性及减少对橡胶密封圈的破坏性;
4、真空容器设计为新型结构,用户可据自己的需求,升级为多功能镀膜设备;
5、多弧离子部份采用先进镀膜工艺技术,即可镀制装饰膜,也能镀制功能膜,数道工艺,一次完成,极为先进科学;
6、智能控制:PLC智能控制+HMI全彩人机触控界面,实现全自动控制;
7、报警及保护:异常情况进行报警,并执行相应保护措施。