PIS210-2镀膜机:腔体结构由装载腔室+真空镀膜工艺腔室组合而成;镀膜工艺系统由纯离子镀膜(PIC)+离子束清洗(IONBEAM)组合而成。本设备为全自动设备。模块化控制,操作简单、维护方便,一键式操作即可完成多层镀膜膜沉积,适合光学镜头模具等高端产品的镀膜。
1、腔体结构由一个装载腔室和一个真空镀膜工艺腔室组合而成;
2、装载腔室装载的同时镀膜工艺腔室同步进行抽真空,极大缩短了镀膜前处理时间,提高工作效率;
3、装载腔室和镀膜工艺腔室之间我们设计采用插板阀隔开,可以有效隔断,稳定工艺气体;
4、传动采用磁导向,保障传动的稳定性。采用变频调速电机驱动,运行速度可调节。