镀膜设备-P纯离子镀膜机系列

镀膜设备-P纯离子镀膜机系列

PI纯离子镀膜机

PI系列设备主要是(集)纯离子镀膜技术(PIC)、 高能离子束清洗技术(IONBEAM)两种技术融合一体,本系列标配双腔室结构,更好的满足高真空镀膜需求;使膜层具有高致密度、超硬、耐磨损、耐腐蚀等特点。设备可镀制10nm-1μm的超级类金刚石膜(Ta-C)。设备具备可编程序控制器(PLC)+人机界面(HMI)组合电气控制系统,全自动化控制系统。

设备优势


设备配套有更高效的电磁过滤系统,极好的获得纳米级超洁净涂层,专注于超洁净纳米Ta-C涂层制备,广泛应用于玻璃模压成型模具表面改性;

双腔室设计,保证了工艺腔的稳定性,极大缩短了镀膜前处理时间,提高工作效率;

采用纯离子低温镀膜工艺,镀膜过程控制在80℃以下,可避免热应力和基材变形;

自主设计的全自动智能化工艺操作系统,提供全面、便捷的工艺配方编辑及调用能力,配备实时工艺参数监控系统,允许在线远程控制。



设备参数

装卸载腔

工艺腔

420*500*525(mm)

720*580*550(mm)

镀膜范围

Φ250mm

极限真空

<5x10-5Pa

抽气时间

大气到6x10-3<15分钟

应用技术

PIC+IONBEAM

源类型

纯离子源、高能离子束清洗源

涂层类型

Ta-C、DLC、金属氮化物、碳化物

生产周期

1-3小时/炉(根据产品)

工艺气体

Ar、 N2、O2、C2H2

外围尺寸

L3410*W4328*H2310(mm)

控制方式

上位机+PLC,全自动控制

配套条件

循环水压力:0.3-0.4MPa

冷却纯水量:不低于8m3/h

压缩空气:0.5-0.7MPa


设备应用领域

精密光学行业(模压模具、精密机械零部件等),满足客户超硬耐磨高寿命使用需求。