AI真空电弧离子镀膜机
工艺系统:由真空电弧离子镀膜(ARC)+离子束清洗(IONBEAM)+磁控溅射(SPUTTER)组合而成。 系列设备通过冷阴极真空弧光放电活...
IS磁控溅射镀膜机
由离子束清洗(IONBEAM CLEANING)+磁控溅射(SPUTTER)组成工艺系统。 系列设备主要是(集)高能粒子束清洗技术(IONBEAM)和磁...