IONBEAM离子束清洗源特征是：结构简单，束流密度大，离子能量可控，在大面积改性处理方面具有独特的优势，离子束清洗源是在一条环形（长方形或圆形）窄缝中施加强磁场，于真空腔室内在阳极作用下使工艺气体离化产生高能氩待离子体，并轰击被镀工件表面；它不仅可以消除工件表面粘附物，还能“刻蚀”工件表面氧化物，从而得到“新鲜”的工件表面，极大地提高工件表面薄膜的结合力，并提高膜层纯度。离子束清洗源可以做得很大很长，阳极层离子源电流也较大，但其离子流方向性强，且能级分布很宽，适用于大型工件，阳极层离子源还可以应用于离子束辅助沉积，工件表面刻蚀和表面清洗等领域。
