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超硬类金刚石涂层

Pi-TaC

TAC(Tetrahedral Amorphous Carbon,四面体非晶碳)涂层,是一种无氢DLC(类金刚石)涂层,其膜层可以达到85%以上的(金刚石)SP3键含量,具有极高的硬度极低的摩擦系数、高弹性模量、宽透光范围、良好的化学惰性等优点,其物理化学性质和金刚石极其类似。

应用范围:在微电子工业、半导体器件、高精密模具、数据存储、航空航天、汽车等领域具有更大的优势。

涂层特性


应用范围

类型 应用范围 优点
Pi-TaC
在微电子工业、半导体器件、高精密模具、数据存储、航空航天、汽车、军工等领域具有较大优势。
目前现有的成熟技术制备的Ta-C涂层硬度基本稳定在HV2500-3000,一般而言,在涂层结合力达标的情况下,涂层的硬度和耐磨性能成正比,对于一些特殊情况下的使用,现有成熟技术制备的Ta-C 涂层很难达到HV4500-5500的超硬要求。
而超硬类金刚石涂层工艺可大幅增加膜层硬度。