游星轮是晶圆双面研磨的核心承载件，在浆料冲刷、持续滑动摩擦工况下工作，其性能直接决定晶圆平整度、表面颗粒水平与研磨良率。
为游星轮工作面镀上类金刚石（ta‑C）涂层，大幅降低滑动摩擦，抵抗研磨浆料的磨料冲刷。显著减少基材颗粒脱落，降低晶圆划伤风险，延长游星轮使用寿命。长期保持厚度稳定，保障晶圆研磨平整度，稳定生产良率。
