静电吸盘是晶圆真空吸附承载部件，在等离子、真空、往复取放工况下工作，其性能直接决定晶圆夹持稳定性、腔体洁净度与制程良率。
为静电吸盘工作面镀上类金刚石（ta‑C）涂层，降低晶圆与吸盘间微动摩擦，减少颗粒生成。耐等离子化学腐蚀，维持稳定静电吸附能力。保护陶瓷基材，延长吸盘服役周期，保障真空制程稳定性。
